LPS22CH高性能MEMS Nano圧力センサ

STMicroelectronics LPS22CH高性能MEMS Nano圧力センサは、デジタル出力バロメータとして作動する超コンパクトなピエゾ抵抗型絶対圧力センサです。LPS22CHは、センシングエレメントと、センシングエレメントからアプリケーションへI²CまたはSPIを介して通信するICインターフェイスで構成されています。センシングエレメントは絶対圧力を検出し、STMicroelectronicsが開発した専用プロセスを使用して製造された懸架膜で構成されています。