IIS3DHHC 3軸リニア加速度計
STMicroelectronics IIS3DHHC 3軸リニア加速度計は、超低ノイズ、高安定性が特徴で、±2.5gのフルスケールです。この加速度計は、測定された加速度をSPI 4線式デジタル・インターフェイスからアプリケーションに送信できます。検知エレメントは、STMicroelectronicsが開発した専用のマイクロマシニングプロセスを使用して製造され、シリコンウェハ上の慣性センサとアクチュエータを作り出します。ICインターフェイスは、高レベルな集積が可能なCMOSプロセスを使って製造されているため、専用回路をセンサの特性に適合するように調整して設計できます。
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