KXTJ3 3軸デジタル加速度計

KIONIX KXTJ3 3軸デジタル加速度計は、3軸、±2g、±4g、±8gまたは±16gシリコン加速度計です。KXTJ3の検出素子は、KIONIX独自のプラズママイクロマシニングプロセス技術を使用して構築されています。加速度センシングは、センシング素子の加速によって誘発される動きに起因する微分静電容量に基づいています。これによって、さらなるコモンモードキャンセレーションが活用されており、プロセスのばらつき、温度、環境ストレスによるエラーを低減できます。KXTJ3センス素子は、ガラスフリットを用いて第2のシリコン蓋ウエハを装置に貼り合わせてウエハレベルで気密封止されます。センシング素子がパッケージに組み込まれている別のASICデバイスは、ジシグナルコンディショニングおよびデジタル通信を実現しています。