Sensirion SFC5500/SFM5500質量流量コントローラ/メーター
Sensirion SFC5500/SFM5500質量流量コントローラ/メータは、デジタルマルチガスCMOSens®ベースのデバイスで、熱伝導に基づいた熱量測定原理によってガス質量流量を測定します。このコントローラ/メータは、非常に魅力的なシステムコストで速度、精度、再現性の比類のない定格を達成しています。断熱膜のヒーター素子およびアップストリームとダウンストリームに配置されている2つの熱電対列は、単一のシリコンチップに集積されています。ガスの流量があるとアップストリームとダウンストリームの温度分布が乱れるため、この非対称性が計測されることになります。さらに大きなチャンネル設計によって粒子、目詰まり、加湿ガスに対する堅牢性が強化されています。CMOSens®ベースのセンサは、コンパクトなシングルチップ設計と金属部品間の取付により、電磁妨害(EMC) に対しても高い耐性があります。
完全に補正された流量計測値は、センサ速度に一致する増幅、A/D変換、デジタル線形化、温度補正によってミリ秒ごとに配信できます。SFC5500質量流量コントローラはゼロドリフト性能を示し、周囲温度と圧力変化の真の質量流量をそれぞれ制御します。温度センサー2個の特別な配置、オンチップ温度補正、ノイズ源の最小化によって、広いダイナミックレンジ全域での再現性と正確性に関してこれまでにない性能につながります。
特徴
- 優れた精度と再現性（それぞれ0.8%/0.1%のセットポイント）
- 制御範囲が極めて広い（1000:1以上）
- 幅広いコネクタと互換性のある G 1/4 インチフランジ (Swagelok、Legris、Festo など)
- 複数のガスセンサ―（Air、N2、O2、H2、He、CH4、N2O、Ar、CO2)向けにキャリブーレションを実施済
- 超高速セトリング時間(<100ms)
- デジタルインターフェイス（温度補正出力搭載）
- NISTトレーサブル・キャリブレーション
- 平均故障間隔（MTBF）169年
- 現場でのドリフトと再較正不要
仕様
- 標準設定時間：<100ms
- 測定周波数：1,000Hz
- 1000:1以上の良好な制御範囲
- 1sウォームアップ時間
- 0～+50°C（+32°F～+122°F）周囲動作温度範囲
- 10bar/145psig最高入力圧力
- 5bar/73psig最高差動圧力
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公開: 2021-05-03
| 更新済み: 2024-06-18