Sensirion SFM3505高性能デジタル質量計

センシリオン (Sensirion) SFM3505高性能デジタル質量計は、コンパクトなガスフローセンサで、超低ノイズ、卓越した精度、最小の圧力損失を小型フォームファクタ内で実現します。SFM3119およびSFM3100の成功に基づいて構築されたSFM3505は、最小限の抵抗で最高クラスの性能を実現するため、完全に再設計されたアーキテクチャを導入します。このシリーズはSFM3505-300標準精度バリアントとSFM3505-300-X高精度バリアントという2種類のバリアントでご用意があります。

SFM3505は、センシリオン (Sensirion) の第5世代 CMOSens^® テクノロジーを搭載し、シングルマイクロチップにセンシングエレメントと高度な信号処理を統合しています。この設計によって、標準 1^2Cインターフェイスを介した高速で安定した、十分に校正されたデジタル出力を提供します。長期間の使用を目的に設計されており、CMOSensチップの卓越した安定性により、このセンサーは製造時や現場での追加キャリブレーションを必要としません。

空気と酸素向けに較正されているSFM3505には、オンチップ温度補償が搭載されており、さまざまな条件下での正確な測定を目的としています。これらの流量計は、機械的な換気加速度計、麻酔、ガス混合システムといったアプリケーションにおける吸気流量ソリューション測定に最適です。

特徴

第5世代CMOSensテクノロジーを搭載
センサ素子と高度な信号処理を単一のマイクロチップで処理
空気と酸素に較正済
高精度
低ノイズ
低圧力降下
吸気口状態への依存性を低減

I²C インターフェイス
オンチップ温度補償
追加のキャリブレーション不要
コンパクトな寸法
ISO3601クラスBに準拠して製造された白色Oリング、内径16.1mm、線径1.6mm
RoHSおよびREACHに準拠

アプリケーション

機械的換気
麻酔

ガス混合システム
高精度および高流量アプリケーション

仕様

空気および O₂流量範囲：-150slm ～ 300slm
出力センサ
- 気流
- O₂フロー
最大精度
- ±3% 測定範囲、±0.05slm オフセット（SFM3505-300用）
- ±2% 測定範囲、±0.05slm オフセット（SFM3505-300用）
最大ノイズ
- 1% m.v. span
- 0.01slm オフセット
±（0.03slm または 0.5%）/ 10°C（25°C基準）温度による精度低下率（-20°C ～ +85°C 範囲内）
型的な圧力依存性
- -1.5% @ 525hPA (abs)
- -0.5% @ 750hPA (abs)
- +0.7% @ 1400hPA (abs)
- +1,0% @ 1650hPA (abs)
最大圧力損失
- 60slmで85Pa
- 200Pa@100slm
- 750Pa@200slm
フローステップ応答時間：3ms
0.00004slm分解能（24ビット）
電源電圧範囲
- 3.2V ～ 3.4V作動
- 最小-0.3V～最大絶対5.5V

最大パワーアップレベル：2.5V
最小パワーダウンレベル：1.5V
最大供給電流
- 測定：10mA
- アイドル状態：0.6mA
3mA最小SCLおよびSDAのシンク電力能力
最大DRDY駆動強度：0.05mA
4kΩ標準DRDY内部抵抗
2ms 最大パワーアップおよびソフトリセット時間
最初のフロー出力利用可能までの最大時間は4ms
最大ウォームアップ時間：50ms
最大 I²C SCL 周波数：1000kHz
内部流量サンプリング速度範囲：3880Hz～4120Hz
650hPaのゲージ最大動作/許容過圧力
1250hPaゲージ最大バースト過圧
動作温度範囲: -20°C～+85°C
非湿度結露
最大2kVの静電気放電耐性、ICチップレベルで人体モデル（HBM）試験を実施
メディア互換性
- 対応するガス－空気、N₂、O₂、その他の非刺激性ガス（非伸縮性）
- 濡れた素材- PPE+PSブレンド、Si、ガラ（Si3N4、SiOx）、エポキシ、FKM、一般的な非湿潤；金、FR4、無鉛はんだ