STMicroelectronics LPS25H MEMS圧力センサー

STマイクロエレクトロニクスのLPS25H MEMS圧力センサーは超小型のピエゾ抵抗絶対圧力センサーです。このデバイスには、モノリシック検出素子と、検出素子から情報を取り込んで外部にデジタル信号を提供することのできるICインターフェイスが含まれています。検出素子は、単層のモノシリコン基板内部に中空構造帯として形成された薄膜で構成されています。この素子は絶対圧力を検出でき、STが開発した専用プロセスで製造されます。この薄膜は、シリコン マイクロマシニングにより作成された従来の薄膜と比較すると極めて小型です。薄膜の破損は、固有の機械的ストッパーによって防止します。ICインターフェイスは、専用回路を設計するための高度な集積を可能にする標準CMOSプロセスを使用して製造されています。専用回路は、検出素子との整合性を高めるためにトリムされます。